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气动隔膜泵空间的容积增大

因为气动隔膜泵的空间体积是逐渐增大，气体压力下降，而气动隔膜泵的入口处的外部气体压力比A空间的压力大，所以吸入气体。当A空间与B空间的吸气口隔离时，即转到B空间的位置，气体开始被压缩，体积逐渐减小，最后与排气管相通。

旋片式气动隔膜泵是真空技术中的一种基本真空获取装置，旋片泵多用于中小型，旋片泵分为单级和双级，所谓双层泵，就是把两个单层泵串联在一起的结构。通常多制成两个等级，以获得较高的真空度，在1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）的进口压力下，规定旋片泵的抽速与进口压强的关系如下：在进口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）时，泵的抽速值分别不低于95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵体，转子，旋片，端盖，弹簧等组成，将转子安装在旋片泵的腔体内，转子外圆与泵腔内表面相切（两者之间有很小的间隙），转子槽内装有带有弹簧的两个旋片。转动时，依靠离心力和弹簧的张力，使旋片顶部与泵腔内壁保持接触，转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动，双旋片将转子、泵腔和两端盖所围成的月牙形空间分成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的A空间的容积逐渐增大，处于吸气过程中和排气孔相通的空间C的体积在逐渐减小，处于排气过程中，位于中心的B空间体积也在逐渐减少，气动隔膜泵处于压缩过程中。